X射线荧光光谱分析仪可以放出X射线对试样进行照射，使试样被激发出各种波长的荧光X射线，再将混合的X射线按波长分开，分别测量不同波长的X射线的强度，从而进行定性和定量分析。X射线荧光光谱分析仪对标准样品的基本要求如下：

 

　　（1）组成标准样品的元素种类与未知样相似，是相同的；

 

　　（2）标准样品中所有组分的含量必须已知；

 

　　（3）标准样品中被测元素的含量范围要包含未知样中所有的被测元素；

 

　　（4）标准样品的状态（如粉末样品的颗粒度、固体样品的表面光洁度以及被测元素的化学态等）应和未知样一致，或能够经适当的方法处理成一致。

 

　　X射线荧光光谱分析仪使用的标准样品可以向研制和经营标准样品的机构购买，如果买不到合适的标准样品，可以委托分析人员研制，但应考虑费用和时间的承受能力。