电感耦合等离子体发射光谱仪 ICP采用的晶体管固态高频发生器，是目前商品化ICP光谱仪中，体积Z小、重量Z轻的发生器。雾化效率高，达到65%。所以，载气可以用工业氩气（99.95%），而无需使用高价的高纯氩气（99.999%）。