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华高仪器于2025年09月12日发布了文章【岛津 SMX-6010:微焦点 X 射线检测仪】。作为在仪器设备行业服务了多年的经销商,华高仪器有着专业的仪器销售团队以及售后服务人员,在采购前期能给客户一套专业完善的采购方案以及及时响应的售后服务。
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在需要观察物体内部结构与缺陷的检测领域,日本岛津推出的 Xslicer SMX-6010 微焦点 X 射线检测仪,凭借设计与实用的功能,为各类样品检测提供支持。该设备属于坚直照射型 X 射线检查设备,搭配了岛津自主生产的微焦点 X 射线发生器和高分辨率平板探测器,能通过高清晰度与宽动态范围的图像,呈现样品细微的内部结构与缺陷,同时可简单快速地实现透视 / CT 模式切换,满足不同工作场景下的多种观察需求,其检测范围覆盖从体积持续缩小的电子元件到密度逐渐提高的多层实装基板。
核心 CT 拍摄模式与特点
SMX-6010 配备倾斜 CT 与直线 CT 两种核心拍摄模式,针对不同类型样品的检测需求提供适配方案:
倾斜 CT:在拍摄大型实装板等样品时,由于样品放置于 XY 载物台上,可将其移近 X 射线发生装置,进而实现高倍放大拍摄。尤其对于基板上的样品,不同于直线 CT 易受样品宽度影响,倾斜 CT 能有效规避这一问题,保障高放大倍率摄影的顺利进行。
直线 CT:主要用于拍摄大型基板等样品,但存在一定使用限制。若为获取高放大倍率而将样品靠近 X 射线发生装置侧,在 CT 拍摄过程中,样品会与 X 射线产生互相干扰,导致无法完成高倍放大摄影,实际应用中需结合样品特性合理选择。
系统核心构成与功能
SMX-6010 的系统构成围绕 “便捷维护、安全使用、适配检测" 设计,各核心部件功能明确:
X 射线发生装置:搭载管电压 160kV、1μm 分辨率的开放管 X 射线发生装置(注:1μm 分辨率基于 JIMA Chart 测试),实现高压发生器一体化设计,无需进行高压电缆维护;同时配备自动调整功能,让灯丝更换操作更加简便。
X 射线检出器:搭载 300 万像素平板检出器,为图像采集提供清晰基础,助力呈现样品内部细节。
5 轴载物台:除样品搭载对应的 XYZ 轴外,检出器还可实现倾斜与旋转动作,通过 5 轴联动,能够支持所有角度的检查工作,适配不同样品的检测角度需求。
X 射线防护箱:核心作用是屏蔽设备外部泄漏的 X 射线,确保泄漏到外部的射线低于 1μSv/h;同时具备正面门扉锁定机构,在 X 射线照射时,正面门扉无法打开;另有联锁机构,当门扉处于打开状态时,5 轴载物台不会发生移动,从设计上保障使用安全。
碰撞检测传感器:在 X 射线检出器周围装有该传感器,当出现紧急情况(如样品碰撞)时,驱动系统会立即停止工作,避免设备与样品受损。
使用条件与配套要求
SMX-6010 在使用条件上有明确标准,仅需在 AC200 V±10 %、1.5 kVA(且接地电阻 100Ω 以下)的电力条件下即可正常动作,无需额外供应空气、冷却水等辅助资源,简化了设备安装与使用时的配套准备工作,降低了使用场景限制。
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