华高仪器于2025年08月01日发布了文章【日本电子JSM-IT800：多功能台式热场发射扫描电子显微镜】。作为在仪器设备行业服务了多年的经销商，华高仪器有着专业的仪器销售团队以及售后服务人员，在采购前期能给客户一套专业完善的采购方案以及及时响应的售后服务。

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在微观结构观察与元素分析领域，高精度的成像与分析工具对材料研究、工业检测等工作具有重要意义。日本电子推出的JSM-IT800台式热场发射扫描电子显微镜，凭借整合的核心技术与多样配置，在扫描电镜领域受到关注。

1. 核心技术与系统整合

JSM-IT800整合了三项关键技术，为其性能提供支持：

- **浸没式肖特基 Plus 场发射电子枪**：作为电子源，为仪器从高分辨率成像到快速元素分析提供基础。

- **Neo Engine**：创新的电子光学控制系统，有助于优化电子束的操控与传输。

- **SEM Center**：采用无缝GUI系统，将一体化JEOL X射线能量色散谱仪(EDS)作为通用平台，支持快速元素分析，提升操作与分析的连贯性。

2. 多样化物镜模块与适用场景

JSM-IT800的物镜采用可更换模块设计，提供五种版本以适配不同需求：

- 混合型物镜(HL)：属于通用型FE-SEM。

- 超级混合物镜(SHL/SHLs)：两种版本各具功能，适用于更高分辨率的观察和分析工作。

- 半浸没式物镜(i/is)：新开发的两种版本，适用于纳米材料、化学、新材料、半导体器件的观察和分析。

3. 性能参数与检测能力

不同版本的JSM-IT800在分辨率等参数上呈现差异。在1kV条件下，HL version的分辨率为1.3nm，is version为1.0nm，i version为0.7nm，SHLs version为1.1nm，SHL version为0.7nm。15kV时，is version分辨率为0.6nm，i version为0.5nm，SHLs version为0.6nm，SHL version为0.5nm。20kV时，HL version分辨率为0.7nm。分析状态下，HL version在5kV、5nA、WD 10mm条件下分辨率为3.0nm；is version和i version在5kV、5nA、WD 8mm条件下分辨率为3.0nm；SHLs version和SHL version在5kV、5nA、WD 10mm条件下分辨率为3.0nm。

各版本的加速电压范围均为0.01-30kV。入射电流方面，HL version和is version的最大值为300nA，i version、SHLs version、SHL version的最大值为500nA。检测器类型上，HL version配备SED、UED；is version配备SED、UID；i version配备SED、UID、UED；SHLs version和SHL version配备SED、UHD。

在分析功能上，HL version和SHL version支持EDS、WDS、EBSD、CL；is version和i version支持EDS、WDS、CL。

4. 探测器配置与信息获取

JSM-IT800可配备多种探测器，助力获取丰富信息：

- **闪烁体背散射电子探测器(SBED)**：在低加速电压下也能产生清晰的成分衬度，且响应性较好，有助于获取图像。

- **多功能背散射电子探测器(VBED)**：能够辅助获取3D、形貌和成分衬度的图像，为分析提供更多维度的信息。

这些探测器的配置，使得仪器能够帮助用户应对测量中的问题。

5. 可选配组件与扩展能力

为满足不同场景的应用需求，JSM-IT800提供多种可选配组件，包括高位电子检测器(UED)、背散射电子检测器(BED)、闪烁体背散射电子检测器(SBED)、多用途背散射电子检测器(VBED)、透射电子检测器(TED)等。同时，低真空相关的检测器、电子背散射衍射(EBSD)、波谱仪(WDS)、软X射线分光器(SXES)等也在可选范围中。此外，探针电流检测器、样品台导航系统、样品室相机、操作桌、操作面板、LIVE-AI过滤器、SMILE VIEW™ Map等配件，进一步扩展了仪器的应用能力，使其能适应更多样化的实验与检测需求。

JSM-IT800通过整合核心技术、提供多样化配置及扩展选项，为不同领域的微观观察与元素分析工作提供了灵活且实用的工具，在材料科学、半导体等领域具有一定的应用价值。

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