ROHS检测光谱仪又称分光仪，以光电倍增管等光探测器测量谱线不同波长位置强度的装置。它由一个入射狭缝，一个色散系统，一个成像系统和一个或多个出射狭缝组成。以色散元件将辐射源的电磁辐射分离出所需要的波长或波长区域，并在选定的波长上(或扫描某一波段)进行强度测定。其主要包括进样系统、电感耦合等离子体光源、光谱仪的分光系统、检测器-光电转换器件等部分。